Wafer圓心影像檢測系統
電洽
Robot 取Wafer時會有中心位差造成移載Wafer到塗佈站時放置後Wafer旋轉偏心造成塗佈不均, Wafer圓心檢測系統 可輔助Robot修正位差, 使Robot放置Wafer時可將Wafer中心精準的放置於塗佈用的Spindle中心上.